花崗石精密平臺與構(gòu)件制品的毛坯先是用金剛石圓鋸片將花崗石荒料鋸切成所需尺寸，加工平面通常要經(jīng)過數(shù)道工序的砂輪磨削和拋光，更高精度必須通過灰鑄鐵研磨工具和碳化硅磨料進(jìn)行手工研磨獲得。需要開槽時(shí)選用相應(yīng)的銑頭，鉆孔時(shí)則用金剛石取芯鉆頭。其檢測手段有兩種：
一種是借助精度為0.5μm的電子水平儀，用位移法可檢測直線度，用來制法可檢測平面度，將測的結(jié)果經(jīng)過算法換算，可得到直線度和平面度的具體數(shù)值;其特點(diǎn)是精度不太高，但測量數(shù)據(jù)可靠，無'0'點(diǎn)漂移問題，特別適合于在線測量與檢測。
 
另一種測量直線度的方法可以通過精度為0.1μm的電容測微儀用位移法測量，其表頭的示值即為直線度的誤差值;在此測量中，由于電感測微儀自身的'0'點(diǎn)漂移較嚴(yán)重，需經(jīng)過長達(dá)24h的穩(wěn)定后，其數(shù)值才可信，故使得加工與測量間的銜接時(shí)間增長。更高精度的加工必須有更高一級精度的檢測手段，目前常采用HP5528A或HP5529A動態(tài)校準(zhǔn)儀，它的顯示精度為1nm，可檢測平面度、垂直度、直線度、時(shí)基即振動、角位移測量、對角測量等等。
 
動態(tài)校準(zhǔn)儀的檢測精度特別高，但由于其復(fù)雜的光系統(tǒng)和復(fù)雜的調(diào)試程序，尤其是光具返回光束的光強(qiáng)和保證在8%以上，否則光束將被擋住，這對調(diào)試者來說調(diào)試較困難，調(diào)試時(shí)間較長，調(diào)試方法不容易掌握。同時(shí)其要求的測量環(huán)境較高。如果需要大理石平臺檢測性能可以參考這里。